Xin chào đến với Website của chúng tôi!

Liên hệ tư vấn:

0975678166

Liên hệ tư vấn:

0992288111

Nguồn Plasma RF – Dòng ICP công suất cao

VNĐ 1.700.000.000

Hãng sản xuất: Minder Hightech

Xuất xứ: China

Bảo hành: 12 Tháng

Liên hệ tư vấn MIỄN PHÍ GIÁ TỐT NHẤT

0992288111

Thông số Model 1 Wafer Model 2 Wafer
Công suất RF 1000W 1000W
Công suất BIAS 600W (tùy chọn) 600W (tùy chọn)
Kích thước wafer xử lý 4 ~ 8 inch 4 ~ 8 inch
Số lượng wafer xử lý / lượt 1 2
Kích thước thiết bị (D x R x C) 1080 x 1840 x 1800 mm 1340 x 2050 x 1800 mm
Điều khiển Hệ thống điều khiển công nghiệp Hệ thống điều khiển công nghiệp
Đặc điểm nổi bật Mô tả
Tự động hóa cao Tích hợp nền tảng nạp wafer tự động, hỗ trợ đồng thời 4 đĩa thạch anh
Hiệu suất bóc tách cao Ứng dụng plasma mật độ cao giúp tăng tốc độ xử lý
Độ ổn định quy trình Đảm bảo tái lập kết quả sau mỗi lần xử lý plasma
Plasma từ xa Giảm thiểu tổn hại ion lên bề mặt wafer nhờ thiết kế buồng plasma từ xa
Phần mềm độc quyền Giao diện trực quan, hiển thị quá trình xử lý bằng hoạt họa, đầy đủ dữ liệu và báo cáo
Kiểm soát chính xác Điều chỉnh áp suất và nhiệt độ linh hoạt qua van bướm chuyên dụng
An toàn sản phẩm Plasma năng lượng thấp giúp hạn chế tác động nhiệt và điện lên bề mặt vật liệu
Hậu mãi chuyên nghiệp Hỗ trợ kỹ thuật nhanh chóng, linh kiện thay thế sẵn có
Kiểm soát bụi Đáp ứng tiêu chuẩn kỹ thuật nghiêm ngặt theo yêu cầu ứng dụng
Phát triển nội địa Hơn 30% đội ngũ là R&D, linh kiện lõi được thiết kế và sản xuất độc lập, giảm rủi ro chuỗi cung ứng